技术特征

效率高，操作傻瓜型，自动化程度高

可靠性好，演示方便

曝光面积

4英寸

曝光波长

365nm

样片尺寸

直径f10mm-- f100mm

厚度0.1mm--5mm

曝光方式

定时（倒计时方式）和定剂量

显微镜

双目双视场对准显微镜

外形尺寸

L1200mm × W900mm × H1750mm

配置

（1）曝光头

（2）对准工件台

（3）对准显微镜

（4）电控系统

（5）气动系统

（6）其他附件：真空泵一台、空压机一台、管道

（7）技术资料