类金刚石碳AFM探针/全金刚石探针：一种是在硅探针的针尖部分上加一层类金刚石碳膜，另外一种是全金刚石材料制备。这两种金刚石碳探针具有很大的耐久性，减少了针尖的磨损，从而增加了使用寿命。