

光刻胶系列
- WHGF-3
- 汶颢股份
- 江苏省苏州市
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- 2023-08-21 11:43:16
苏州汶颢微流控技术股份有限公司
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SU-8 / AZ 光刻胶
克服了普通光刻胶采用UV光刻深宽比不足的问题,在近紫外光(365nm-400nm)范围内光吸收 度很低,且整个光刻胶层所获得的曝光量均匀一致,可得到具有垂直侧壁和高深宽比的厚膜图形; 它还具有良好的力学性能、抗化学腐蚀性和热稳定性;在受到紫外辐射后发生交联,是一种化学扩 大负性胶,可以形成台阶等结构复杂的图形;在电镀时可以直接作为绝缘体使用。



S U-8 光刻胶 SU-8光刻胶效果图 转速和膜厚度的关系


部分SU-8 / AZ 光刻胶型号

SU-8显影液 SU-8去胶液 AZ 400K 显影液 AZ 300MIF 显影液 AZ 400T 去胶液